组合式密封圈是干法刻蚀腔室的适配密封方案，针对干法刻蚀的高真空、强等离子体侵蚀、宽温域（-40℃~300℃）
及腐蚀性工艺气体（如Cl₂、CF₄）工况，采用“耐腐表层+弹性内层”复合结构。表层优选全氟醚橡胶（FFKM）
或改性聚四氟乙烯（PTFE），可抵御等离子体轰击与化学腐蚀，满足高真空低释气要求；内层搭配氟橡胶（FKM）或氟硅橡胶，
保障密封面贴合度，避免单一材质弹性不足或成本过高的缺陷。
它主要适配干法刻蚀腔的静电卡盘卡槽、腔室门接口、气体管路连接位等关键部位，能有效阻断刻蚀副产物进入密封间隙，
防止真空泄漏与部件腐蚀，延长设备维护周期，是提升干法刻蚀工艺稳定性的关键部件。