碳化硅-石墨机械密封件是高洁净阀体、真空泵及管道接口的高端密封方案，凭借硬质材料的耐磨、
耐腐与低污染特性，适配高真空、强腐蚀、零泄漏的高洁净工业场景。
该密封件核心由碳化硅动环与石墨静环组成，碳化硅具备超高硬度（莫氏硬度9.2）、耐等离子体侵蚀与化学惰性，
石墨则拥有自润滑性和低摩擦系数，二者端面精密贴合形成密封面，可在真空泵轴端等动密封部位实现微米级密封，
杜绝介质泄漏与外部杂质渗入，满足半导体、制药等行业的高洁净要求。
在真空泵应用中，它主要适配无油干式真空泵的轴端密封，能耐受泵体内部的高温（可达300℃）与高真空环境，
且无橡胶密封件的释气污染问题，保障真空系统的洁净度；在高洁净阀体与管道接口处，多作为特种阀门的旋转阀杆密封，
适配强腐蚀性工艺气体（如半导体刻蚀气）、高纯液体的输送工况，可抵御介质腐蚀并长期保持密封精度，
避免阀体泄漏导致的产品污染。
需注意，该密封件对安装精度要求极高，需保证动静环端面平行度误差≤0.005mm，且需搭配O型橡胶辅助密封件
（如氟橡胶圈）实现静密封，弥补硬质材料的装配间隙，在高洁净工况中形成“硬密封+软密封”的复合密封体系。