关键参数:
工作压力覆盖10⁻¹²Pa(超真空)至300MPa(高压),耐温范围-270℃(深冷)~1100℃(高温),
在200℃强酸介质中连续密封寿命超8000小时;可适配硫酸、氢氟酸等强腐蚀介质,以及液氧、
高纯度半导体工艺气体,泄漏率<10⁻⁹Pa·m³/s。
应用行业(产品)与认可度:
化工领域用于超高压反应釜密封,航空航天适配航天器推进系统管路,
半导体端作为晶圆蚀刻设备真空接口件。
该产品在行业内认可度极高:
化工企业用其替代传统密封件后泄漏事故降为零;
航天端通过GJB(国军标)可靠性认证;半导体行业中,
它是高纯度工艺场景的指定密封件,被头部晶圆厂列为“关键耗材”。