CVD/PVD设备:
像适配HDPCVD、PECVD等工艺的CM - 2086型号包氟圈,能耐受工艺中的高温与等离子体环境,密封反应腔体及气路接口,
防止硅烷等反应气体泄漏,且低金属离子析出,避免污染晶圆薄膜沉积质量。
蚀刻工艺设备:
干法蚀刻时,其可抵御等离子体侵蚀,密封蚀刻机腔体;湿法蚀刻中,CM - 2886等型号能耐受氢氟酸等腐蚀性化学品,
用于密封反应槽与管线接头,保障蚀刻精度不被密封失效影响。
高温热处理设备:
CM - 2980型号可在300℃下连续工作,适配植入退火、快速热制程等场景,密封扩散炉、氧化炉的炉体法兰,
在反复温变中保持密封性,避免热量流失和外部杂质侵入。
辅助系统及其他设备:
一方面用于高纯度气体输送管道接口和真空阀门处,契合SEMI F57认证的低析出要求,防止气体泄漏和污染;
另一方面还可用于光刻机的溶剂环境,凭借高洁净性避免污染光刻胶,保障光刻环节的精密性