核心应用场景:
主要用于外延炉、等离子刻蚀机、CVD设备的法兰接口、腔体门及管道连接处。在晶圆外延生长和薄膜沉积时,
它能密封设备腔体,维持高真空环境,避免空气进入影响晶圆成膜质量;刻蚀环节中,可抵御卤素等离子体侵蚀,
防止腐蚀性气体泄漏,保障工艺稳定。
适配工艺优势:
密封压力可达10 - 100MPa,泄漏量≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s,适配半导体工艺的高压需求,压力波动时也能稳定密封。
其耐温范围覆盖 - 200℃ - 600℃,可耐受设备加热冷却循环的温度变化,且无纤维、颗粒脱落,契合半导体洁净生产标准,
避免污染晶圆。
实用特性与维护:
使用寿命达5 - 8年,是传统密封垫片的4 - 5倍,能减少半导体生产线停机换件频次。拆卸后若密封面无损伤,
清洁后可重复使用10次以上,降低半导体高成本生产的维护开支。
适配技术演进:
随着晶圆向12英寸及更先进工艺升级,高精度金属C形环通过精密加工控制尺寸误差,
适配新型设备的窄法兰槽结构;针对碳化硅等化合物半导体的极端工艺,专用合金材质的C形环还可提升耐温上限,
匹配更高要求的密封需求。