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金属C形圈 价格:

采用不锈钢、铜、镍基合金(如Inconel)制成,可在1000℃以上高温和超高真空环境下使用,密封精度高,适用于炉体法兰等关键静密封部位,是半导体高温炉核心密封件。

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详细内容 规格参数 产品包装

 核心应用场景:

          主要用于外延炉、等离子刻蚀机、CVD设备的法兰接口、腔体门及管道连接处。在晶圆外延生长和薄膜沉积时,

它能密封设备腔体,维持高真空环境,避免空气进入影响晶圆成膜质量;刻蚀环节中,可抵御卤素等离子体侵蚀,

防止腐蚀性气体泄漏,保障工艺稳定。


适配工艺优势:

          密封压力可达10 - 100MPa,泄漏量≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s,适配半导体工艺的高压需求,压力波动时也能稳定密封。

其耐温范围覆盖 - 200℃ - 600℃,可耐受设备加热冷却循环的温度变化,且无纤维、颗粒脱落,契合半导体洁净生产标准,

避免污染晶圆。


实用特性与维护:

           使用寿命达5 - 8年,是传统密封垫片的4 - 5倍,能减少半导体生产线停机换件频次。拆卸后若密封面无损伤,

清洁后可重复使用10次以上,降低半导体高成本生产的维护开支。


 适配技术演进:

           随着晶圆向12英寸及更先进工艺升级,高精度金属C形环通过精密加工控制尺寸误差,

适配新型设备的窄法兰槽结构;针对碳化硅等化合物半导体的极端工艺,专用合金材质的C形环还可提升耐温上限,

匹配更高要求的密封需求。


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