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金属八角环 价格:

它的密封原理是将环体嵌入法兰的梯形槽内,通过法兰螺栓紧固产生的预紧力,使八角环与槽壁紧密贴合,利用金属的塑性变形填充密封间隙,实现可靠密封。因其截面呈规整八角形而得名,材质多选用不锈钢、Inconel合金等耐蚀耐高温材料,广泛用于石油化工、半导体晶圆炉、压力容器等对密封性能要求严苛的场景。

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详细内容 规格参数 产品包装

     金属八角环作为高端金属密封件,凭借耐高压、耐高温、高密封可靠性的特性,

成为半导体制造领域严苛工况下的关键静密封部件,核心应用于晶圆生产的各类高温炉体与真空设备。


     其材质多选用316L不锈钢、Inconel 600/625等镍基合金,可耐受半导体外延炉、高温退火炉800℃以上的工作温度,

同时抵御炉内氢气、卤素等腐蚀性工艺气体的侵蚀,避免密封件失效导致晶圆污染。在密封原理上,八角环嵌入设备法兰的梯形槽,通过螺栓预紧力使金属发生塑性变形,与槽壁紧密贴合,

能在10⁻⁹Pa的超高真空环境下实现零泄漏,满足晶圆生长对真空度的极致要求。


       在具体应用场景中,它主要用于外延炉炉体法兰、退火炉腔体连接口、CVD设备气体管路接口等部位。

针对12英寸大硅片生产设备的高精度要求,金属八角环通过精密加工将尺寸公差控制在±0.02mm内,适配窄法兰槽的密封需

求;对于碳化硅、氮化镓等第三代半导体的制备,耐高温合金材质的八角环还能适配1200℃的极端工艺温度,

保障化合物半导体晶圆的生产稳定性。此外,其可重复使用性也降低了半导体产线的维护成本,拆卸后经无损检测和清洁,

可多次回装使用,契合半导体行业降本增效的生产需求。


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