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全氟醚O型圈 价格:

全氟醚专为半导体极端工况打造关键密封耗材。它适配光刻、刻蚀等核心工艺,耐受超高温、强腐蚀介质与等离子体,且高洁净、低离子析出,能保障设备真空密封,防止晶圆污染,同时也是晶圆厂需定期更换的核心耗材,支撑半导体生产稳定与良率。

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详细内容 规格参数 产品包装


特性与优势:

     耐温范围广,长期工作温度-39~288℃,部分配方短时可耐350℃以上,低温下也能保持弹性不脆裂;

可抵御1600多种化学介质腐蚀,仅在氟代溶剂中可能溶胀。同时它气密性佳、气体渗透率低,且高洁净低析出,

还具备良好的耐磨性与低压缩永久变形率,能延长密封寿命,减少设备维修成本与停机损失。


应用领域:

    核心适配半导体行业,也广泛用于多个高端领域。像石油化工领域中,适配反应釜、管道阀门等设备;

航空航天领域可用于发动机燃油、推进剂输送系统;医药食品领域能匹配发酵罐、高温灭菌设备等;

此外还适用于新能源锂电池电解液输送设备、核电站阀门等场景。


工艺应用:

     半导体领域适配晶圆湿法刻蚀、光刻、化学气相沉积等工艺,还能满足高温退火炉、扩散炉的密封需求;

生产端采用模压成型工艺,部分搭配二次硫化工艺消除内应力,可定制非标尺寸;在化工的裂解、

加氢等高温高压反应工艺,以及医药行业的SIP/CIP灭菌工艺中,也能适配设备密封需求。



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